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產品資料
電腦操控,可多根連合的離子棒
產品型號:5225
產品廠商:
簡介:

Simco-Ion 型號 5225 離子棒,以數碼電路設計和透過軟件操控,滿足設備內的防靜電需求。它提供高離子輸出量,能快速中和晶圓上的靜電,符合 E78 標準上*嚴格的要求。棒身以空氣動力學設計和高潔凈度材料制造,使得 5225 離子棒在微型潔凈室內,完全發揮靜電防控能力,而不干擾室內層流氣流。 5225 離子棒能結合設備系統,使用預編軟件或開放的源代碼范例,與設備接口的無縫連接,作出低成本的靜電防控方案,減低維護費用,和有更好的警報功能。系統警報和信息能交替顯示在設備控制器上,另有設備監控輸出作其他警報提醒。 Simco-Ion 強大的軟件系統提供**的離子棒控制,設置包括:工作模式調整 (脈沖模式,穩態模式,待機),信號同步,電離開關時間,輸出功率,正負極的警報閾值,每根棒都能獨立設置。精準的警報和維修檢測,也能降低的故障耗時和診斷工作。

產品參數

         產品型號

         5225

         工作電壓

         24 VAC,50/60 Hz,1W (typ),由介面模組提供

         輸入電壓

            0-20 kVDC,±10% @ 離子棒上每個極性,正負極性的輸出可以通過軟件的 GUI 設置

         輸出電流

         <15 μA,電流和電壓限定

         信號接口

         介面模組的 RS-485

         接      口

         RJ-11 modular jack receptacles

         調     節

         通過單獨校準離子棒的每個極性的輸出電流,來達到輸出和平衡的穩定性

         脈沖定頻

         每個極性的電離開關時序,0-10 秒 @ 0.1 秒 調級,棒上的LED 顯示電離極性

         工作模式

         脈沖直流,穩態直流,待機

         警      報

         警報啟動 - 當離子棒不能再維持設定的離子輸出量,在棒上有紅色的 LED 顯示,或者顯示

        在監控軟件 的 GUI 上;警報限制閾值可設定,作預防性維護。

         靜電針材質

         單晶硅,可替換

         預防性維護

         維護周期 - 年度,半年度,或季度 - 取決于環境和制程的敏感度

         臭氧產生

         <0.005 ppm

         EMI

         低于背景水平

         LED 顯示

         正和負的紅色 LED 會閃爍,表示工作。中間的紅色 LED 快速閃爍表示警報。

        全部 3 個紅色 LED 閃爍表示通信發生問題。報警也會在監控軟件 的 GUI 上顯示


         體     積

          5.3H x 3.1W x (56.9,72.1,90.7,112.8,141.2,163.6,191.8or 214.4L) cm

         重     量

         1.02 kg (56.9 cm) 長的棒 (約 每 30 cm 長度,有 0.17 kg 重量)

         封     裝

           ABS plastics,防火阻燃

         保修期

           兩年有限保修







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