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產品資料
脈沖技術離子棒
產品型號:5630
產品廠商:
簡介:

Simco-Ion Aerobar 5630 MP 離子棒能提供快速靜電消散,低殘余電壓擺幅,和精準的離子平衡,是設計用于有嚴格要求的超高潔凈半導體或有同類的制程環境。它采用 MP 技術 - 把高頻正旋周波和調制脈沖結合 - 產生高輸出量的離子和把它們推送至目標表面,這突破的技術使 5630能維持長時間的高效工作而不需清潔,相較傳統脈沖 AC 技術,有更長的清潔周期。在棒長 450mm 和 600 mm 時,靜電針的間距是 50 mm,棒長 850 mm 至 2350 mm 的靜電針的間距是75 mm。5630 MP 離子棒標準配置是 QTC27 TurboJet 風嘴和鈦金屬靜電針,提供高效而長清潔周期。 Aerobar 5630 MP 離子棒能容易設置和微調參數 - 輸出電壓,脈沖頻率,正負平衡,以符合不同環境和產品對靜電的敏感要求。可垂直和橫放安裝,容易滿足不同的應用環境,如機內插

產品參數

         產品型號

         5630

         工作電壓

         24 VDC ±10%

         輸出電壓

        13.5 kV p-p (max),可調

         工作距離

         由15cm至100 cm,根據應用需求或客戶規格決定

         脈沖定頻

         由1Hz 至 33 Hz,可調,默認設定-5 Hz

         平衡電壓

         自動平衡系統,在可控環境下,整根棒能長期保持在 <±20V @61 cm 工作距離

         工作效能

         TurboJet 風嘴 : <3.5 秒 @ (±1000-100V,HEPA下工作距離60cm 和0.3 m/s 風速,

         和每風嘴供氣 3 liter/min,根據ANSI/ESD-STM3.1-2006 Ionization 標準);OpenJet 

         風嘴 :15秒 (典型),Vp-p擺幅 - 80Vp-p @ (沒有吹氣輔助,在棒中下面61cm工作距離)

         電離技術

         調制脈沖 (MP) 技術

         靜電針材質

         

         風嘴間距

         可選 50 mm 或 75 mm;棒長 450 mm 和 600 mm 只可選50 mm

         符合潔凈度

         滿足 ISO 14644-1 Class 3 標準

         供氣要求

         CDA (清潔干燥壓縮空氣)或氮氣

         氣壓要求

         45 psi (*大);由選配的 8 mm 外徑快速接口接入,每個風嘴輸出 1-3.5 litre/min的

         風量 (選配)

         臭氧產生

         <0.05 ppm

         EMI

         低于背景水平


         操作環境

           15-35℃,30-60% RH,無冷凝

         設      定

         DIP 開關設定電源輸入選擇,有可調電位器微調操作參數 - 正負平衡,工作頻率,

        功率輸出,也可以序列埠輸出連接電腦軟件作調整

         封      裝

           ABS chassis, 棒上不銹鋼長條作回饋

         體     積

        78H x 34W x 長度 - 450,600,850,1000,1150,1300,1450,1600,1750,1900,

        2050,2200,2350L mm

        型號 5601 電源分配盒

        輸入電壓

        24 VDC 提供給一組 4 根棒,組內每個端口*多需要 0.7A 電流;總電流要求 5.6A

       通       

          有以太網端口 (RJ-45) 連接電腦,每根棒有獨立待機信號

       警       報

        輸出繼電接點連地

       輸出端口

        8個RJ-45 端口,每根棒接一個端口

       LED 顯示

       電源 - 綠,通信 - 黃,警報 - 紅,LAN 通信 - 藍

      重        量

       0.42 kg

      體        積

       3.1H x 16.0L x 9.2W cm








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