潔凈環境使用的離子棒
產品型號:5635 (M)
產品廠商:
簡介:Simco-Ion Aerobar 5635 MP 離子棒能提供快速靜電消散,低殘余電壓擺幅,和精準的離子平衡,是設計用于有嚴格要求的超高潔凈半導體或有同類的制程環境。它采用 MP 技術 - 把高頻正旋周波和調制脈沖結合 - 產生高輸出量的離子和把它們推送至目標表面,這突破的技術使 5635MP 離子棒能安裝在晶圓的 15 cm 距離內。同時配合超高潔凈的靜電針和**的參數調整,使它達到超越 ISO Class 1 潔凈水平的
“Extended ISO Class 1”潔凈度,適合更微小的先進技術制程。選配的吹氣輔助功能,在潔凈要求不高的環境,能加快離子的推送,得到更快的消散時間和有更遠的工作距離。
Aerobar 5635 MP 離子棒的 MP 技術能容易設置和微調參數 - 輸出電壓,脈沖頻率,正負平衡,以符合不同環境和產品對靜電的敏感要求。在棒長短于 60 cm 時,靜電針的間距