沿線超高潔凈氮氣離子產生器
產品型號:4214
產品廠商:
簡介:Simco-Ion 沿線超高潔凈氮氣離子產生器型號 4214 是特別為了電離氮氣而設計,能把電離氮氣的離子送至超高潔凈要求的半導體和其他高純潔凈度的制程。一般市面上的氮氣離子產生器都要求在氮氣流內加進少許氣體以產生離子,而這個先進工藝的離子產生器采用一個小而高效的電源,就可電離氮氣。
型號 4214 離子產生器利用高頻交流電離技術,能提供快速的消散時間,有效地中和靜電。微控處理和細小體積,能容易整合需要氮離子產生器的設備。超高潔凈的設計和內置微粒采集系統,能確保是*干凈的離子產生器,兼容和提供要緊半導體制程的靜電中和。只需提供不間斷的氮氣通過型號 4214,產生的氮離子就能滿足 Extended ISO Class1潔凈度,適合在 22 nm 和以下的所有晶圓技術制程工作。